MEMS传感器

作为采用微电子和微机械加工技术制造的新型传感器，MEMS与传统的机械传感器相比，传感器的尺寸更小性能更高生产成本较低为了使物联网设备之间的连接更加顺畅，MEMS传感器越来越受到重视MEMS传感器应用场景多样，如智能手机手势识别方向定位以及压力感知它可以帮助车辆控制稳定性，提高车辆的性能作为世界上最大的电子产品生产基地，中国对MEMS对传感器的市场需求巨大2018年，中国MEMS传感器市场规模达到375亿元，已成长为世界上最大的几个MEMS传感器市场之一数据显示，未来全球全球MEMS传感器市场将以9的复合年增长率增长，预计2027年将达到500亿美元经过40多年的发展，MEMS传感器不断适应新的

近年来，随着新一代信息技术的快速发展和医疗资源需求的不断增长，智能医疗市场需求不断增加，市场规模迅速扩大，中国已成为仅次于美国和日本的世界第三大智能医疗市场一系列新兴技术和产品的应用使医务人员能够基于大量的医疗感知元件，特别是MEMS整合传感器，掌握患者的生理健康状况，辅以精准的治疗建议，为患者提供更好更智能的医疗服务特别是自2020年全球新冠疫情爆发以来，对相关智能医疗设备的需求激增例如，无接触温度测量刺激了热电堆和微热辐射测量仪的需求，核酸检测刺激了微流量控制产品的需求，呼吸机驱动了压力传感器和流量计的需求等热成像在疫情期间MEMS热电堆和微热辐射测量仪和微流量控制是短期现象和最大增长点因

hljs-center微机电系统是指一种将微型传感器执行机构机械结构能量来源信号处理控制电路高性能电子集成器件接口和通讯等功能集成于一体的微米级或纳米级器件或系统微MEMS传感器是以微电子技术为基础，运用微电子与微机械加工技术，结合现代信息处理技术，发展起来的多学科交叉前沿研究领域相对于传统传感器，该传感器具有体积小重量轻成本低功耗低可靠性高适于批量生产，易于集成，实现智能化等特点在微米量级上的特征尺寸使其能够完成一些传统机械传感器无法实现的功能自2016年以来，国内传感器技术和产业发展迅猛，在国内物联网5G人工智能等技术的推动下，传感器不断向MEMS化智能化网络化和系统化发展MEMS产业链主

hljs-center智能MEMS传感器是什么微机电系统中MEMS传感器是典型的传感器部件指能够批量生产，并将微结构微传感器微执行机构信号处理和控制电路等集成在一起的设备或系统该系统的特点尺寸一般为01100μmMEMS综合了当今科技的诸多前沿成果，MEMS传感器不仅可以感知被测参数，并将其转化为便于测量的信号，还可以分析处理识别判断得到的信号，因而被形象地称为智能传感器热销的MEMS传感器市场近几年来，得益于汽车电子消费电子医疗电子光通信工业控制仪器仪表等市场的高速增长，终端应用市场在智能终端智能汽车生物医疗等诸多新兴领域不断扩大，传统传感器已经无法持续满足终端应用领域不断变化的需求MEMS

hljs-center基于半导体制造技术，智能MEMS传感器应用微电子技术和微机械加工技术，研制了一种新型传感器微机电系统传感器广泛应用于电子车身稳定ESP，防抱死ABS，电气控制悬挂ECS，胎压监测等系统中在这些传感器中，压力传感器加速计陀螺和流量传感器是使用最多的MEMS传感器，占了汽车MEMS系统的99微机电技术作为未来建筑物网络传感层的主要选择之一，其优势表现在1微型化，2硅基加工工艺，3批量生产，4集成化1微型化MEMS器件体积小，测量单位为单个尺寸毫米甚至微米，重量轻，能耗低高表面体积比表面积比的MEMS能够提高表面传感器的灵敏度2批量生产以一个5mm5mm尺寸的单片机电传感器为例

智能传感器和通讯，电脑被称为现代信息技术的三大支柱但是原本处于战略要地的传感器，在中国的产业定位上，基本上一直处于边缘hljs-center这些年MEMS传感器很火，每台手机上都有好几个，比如感应加速而且普通车也至少有十几辆德国的博世，美国的博通，荷兰的恩智浦等都是这个行业的巨头在中国，只有麦克风的MEMS传感器能够挽回一些面子，表现不错但是MEMS传感器的设计，需要两个非常专业的CAD软件一种是IntelliSuite，成立于1991年，是美国第一个MEMS专用CAD设计绘图软件其他的ConventorWare也属于美国公司几乎所有的中国传感器企业都在使用，能够占据80的中国市场本年度国内承

hljs-center一国内MEMS传感器厂商面临的机遇当前，国内MEMS传感器厂商整体规模不大除了歌尔和瑞声年营收超过1亿美元，美新半导体美泰科技芯奥微等本土MEMS传感器厂商的年营收都不足6000万美元，整体规模不大此外，国内厂商所经营的产品种类比较单一，产品线多为单片多为组件提供，解决方案的供应能力较差与之相比，国际巨头Invensense英飞凌等国外厂商有2-3条产品线，博世电装意法半导体等MEMS产品线超过4条，并具备集成解决方案供应能力与此相反，小供应商难以在较短时间内实现大规模生产，因此排名靠前的大供应商的市场占有率相对稳定，市场集中度也较高二国内MEMS传感器发展前景展望1ME

MEMS的全称是微型机械系统采用传统的半导体工艺和材料，将微传感器微致动器微机械机构信号处理与控制电路高性能电子集成装置接口通讯与电源等与微型设备或系统合二为一该系统具有体积小，成本低，集成度高微机电传感器类型微机械传感器的种类很多，主要有运动传感器压力传感器麦克风环境传感器光传感器等运动传感器的MEMS主要有三种类型加速度计陀螺仪磁力计，其中加速度计和陀螺仪可集为六轴惯性传感器，磁力计和磁力计集为电子罗盘，磁力计和陀螺仪集为九轴惯性传感器微机电环境传感器可以分为气体温度湿度传感器等微机电气体传感器主要用于检测气体的成分浓度等可以在需要检测温度的任何位置使用MEMS温度传感器MEMS湿度传感器

微型机电系统MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem，又称微型电子学系统，微型系统，微型机械等，是指高科技设备，其尺寸可达几毫米甚至更小微型机电系统的内部结构一般为微米甚至纳米级，是一个独立的智能系统它主要包括传感器动作装置驱动器和微型能量源三大部分微机电系统是一种集微传感器微执行机构微机械结构微电源微能量信号处理与控制电路高性能电子集成器件接口通讯于一体的微型设备或系统具备小型化，智能化，多功能，高集成度，适合大规模生产等基本特点微机电技术是一门革命性的新技术，广泛应用于物联网等高新技术领域，是关系到国家科技进步经济繁荣和国防安全的关键技术MEMS就包含在集成电

与传统半导体行业相似，Fabless前端设计环节ODM代工工厂生产环节封装测试到下游最终应用环节等四个主要环节构成了半导体行业的完整产业链在中国，设计，制造，封装和测试厂商正在积极布局MEMS，形成了一个完整的MEMS产业链产业链内企业分布情况长三角地区上海，无锡，南京为中心城市逐步形成包括热敏磁敏图象称量光电温度气敏等一系列较为完整的传感器生产产业配套体系珠江三角洲地区深圳为中心城市我国的传感产业体系主要由邻近中小城市的外资企业构成，热敏磁敏超声称重等东北部沈阳长春哈尔滨为代表我司主营MEMS力敏传感器，气敏传感器，湿敏传感器京津地区以高校为主致力于新型传感器的研究开发，填补了国内空白中心区