智能MEMS传感器是什么?
微机电系统中MEMS传感器是典型的传感器部件。指能够批量生产,并将微结构、微传感器、微执行机构、信号处理和控制电路等集成在一起的设备或系统。该系统的特点尺寸一般为0.1~100μm。MEMS综合了当今科技的诸多前沿成果,MEMS传感器不仅可以感知被测参数,并将其转化为便于测量的信号,还可以分析、处理、识别、判断得到的信号,因而被形象地称为智能传感器。
热销的MEMS传感器市场。
近几年来,得益于汽车电子、消费电子、医疗电子、光通信、工业控制、仪器仪表等市场的高速增长,终端应用市场在智能终端、智能汽车、生物医疗等诸多新兴领域不断扩大,传统传感器已经无法持续满足终端应用领域不断变化的需求。MEMS传感器是运用微电子技术和微机械加工技术制造的新型传感器,与传统传感器相比,具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量生产、易于集成和智能化等优点,其应用日益广泛,需求量也日益增加,MEMS行业发展势头愈来愈猛。2018年全球MEMS市场规模约2570万美元,2026年有望突破6060万美元,2019-2026年期间平均复合增长率为10.4%。从发货量来看,到2023年,全球MEMS平均复合增长率将超过20%,增速超过半导体市场。
今后,推动全球MEMS持续增长的主要因素有三个:第一,全球主要市场对汽车安全和智能控制系统的需求逐年上升,推动MEMS市场的持续增长;第二,工业4.0和智能家庭影响下的工业和家具类自动化产品对MEMS的巨大需求;第三,可穿戴设备、无人机/机器人越来越受欢迎,各领域的普及率进一步提高。
微机电技术被认为是21世纪最具发展前景的技术之一,将硅基微电子技术与微机械技术结合,有望对工业品和消费品产生革命性的影响。其技术和基于微系统的设备将对我们的生活方式产生重大影响。