hljs-center微机电系统是指一种将微型传感器执行机构机械结构能量来源信号处理控制电路高性能电子集成器件接口和通讯等功能集成于一体的微米级或纳米级器件或系统微MEMS传感器是以微电子技术为基础,运用微电子与微机械加工技术,结合现代信息处理技术,发展起来的多学科交叉前沿研究领域相对于传统传感器,该传感器具有体积小重量轻成本低功耗低可靠性高适于批量生产,易于集成,实现智能化等特点在微米量级上的特征尺寸使其能够完成一些传统机械传感器无法实现的功能自2016年以来,国内传感器技术和产业发展迅猛,在国内物联网5G人工智能等技术的推动下,传感器不断向MEMS化智能化网络化和系统化发展MEMS产业链主