作为采用微电子和微机械加工技术制造的新型传感器,MEMS与传统的机械传感器相比,传感器的尺寸更小性能更高生产成本较低为了使物联网设备之间的连接更加顺畅,MEMS传感器越来越受到重视MEMS传感器应用场景多样,如智能手机手势识别方向定位以及压力感知它可以帮助车辆控制稳定性,提高车辆的性能作为世界上最大的电子产品生产基地,中国对MEMS对传感器的市场需求巨大2018年,中国MEMS传感器市场规模达到375亿元,已成长为世界上最大的几个MEMS传感器市场之一数据显示,未来全球全球MEMS传感器市场将以9的复合年增长率增长,预计2027年将达到500亿美元经过40多年的发展,MEMS传感器不断适应新的