基于半导体制造技术，智能MEMS传感器应用微电子技术和微机械加工技术，研制了一种新型传感器。微机电系统传感器广泛应用于电子车身稳定(ESP)，防抱死(ABS)，电气控制悬挂(ECS)，胎压监测等系统中。在这些传感器中，压力传感器、加速计、陀螺和流量传感器是使用最多的MEMS传感器，占了汽车MEMS系统的99%。
微机电技术作为未来建筑物网络传感层的主要选择之一，其优势表现在：1)微型化，2)硅基加工工艺，3)批量生产，4)集成化。
1)微型化：MEMS器件体积小，测量单位为单个尺寸毫米甚至微米，重量轻，能耗低。高表面体积比(表面积比)的MEMS能够提高表面传感器的灵敏度。
2）批量生产：以一个5mm5mm尺寸的单片机电传感器为例，采用硅微加工工艺，在8英寸硅片单元上可以同时切割约1000个MEMS芯片，通过批量生产可以大大降低单片机电传感器的生产成本。
3）集成化：一般情况下，单个MEMS常常是在封装机械传感器的同时，将ASIC芯片集成起来，控制MEMS芯片和将模拟量转换成数字量输出。
外资大企业产品系列广泛，技术领先，客户众多，形成了较高的进入门槛。而MEMS传感器的研发难度和制造过程的复杂程度是造成产业壁垒的主要原因。与此相反，小供应商难以在较短时间内实现大规模生产，因此排名靠前的大供应商的市场占有率相对稳定，市场集中度较高。
其传感器装配价格与其装配型号的价格成正比。现在每辆车平均配备24个MEMS传感器，而在高档车中，将配备25-40个。比如BMW的高端车型只需要使用引擎20-40个传感器，而入门级车型只有5个左右。常见的MEMS传感器可实现单车价值2000-20000元不等；合资车一般不低于4000元，自主品牌只有2000元左右，高端车型大约是10000-20000元。MEMS传感器市场预计到2019年将达到420.13亿元；随着智能化和电动化水平的不断提高，2020年市场规模将达到446.21亿元，2023年将达到472.27亿元，2015-2021年复合增长率将达到6.5%。
