集成传感器

自工业时代以来，传感器帮助人们方便地获取曾经不可知难以判断的信息，使数据更加精确，传感器已成为数字化社会中极其重要的基础设施传感器一直化身为人，连接着机器人本身和自然环境的延伸器官，包括智能手机智能语音装置能源平台和工业设备传感技术是实现制造智能化的基础随着当今智能时代的推进，以射频识别技术为基础的高性能高可靠性多功能复杂自动测控系统和物联网的兴起和发展，具有感知和认知能力的智能传感器的重要性日益突出，其发展势在必行现代化工业生产，特别是自动化生产，需要利用各种传感器对生产过程中的各个参数进行监控由于传感器具有一定的精度稳定性和可靠性，许多企业对传感器进行了硬件改造，不断采用新材料制作传感器核

20世纪80年代，美国就认为世界已经进入了传感器时代，成立了国家技术小组BTG，帮助政府组织并领导大型企业和国家企业部门开展传感器技术开发工作，美国22个关系到国家长期安全和经济繁荣的技术中，6个与传感器信息处理技术直接相关日本将传感器技术的开发利用作为国家重点发展的六大核心技术之一20世纪90年代，日本科技厅组织了70个重点科研项目，其中18个项目与传感器技术密切相关感应器和通讯，电脑是现代信息系统的三大支柱由于它具有技术含量高渗透性强市场前景广阔等特点，已受到世界各国的高度重视二十世纪六十年代，我国开始涉足传感器制造领域，八五期间，我国把传感器技术列为国家重点科技攻关项目，建立了传感器技术

压力智能传感器是MEMS中应用最广泛的产品之一，它可以应用于智能手机汽车航空动力学过程控制和生物医学等领域，而且压力传感器有微压低压中压和高温高压等多种类型MEMS压力传感器按传感原理可分为压阻型电容型光学型谐振型和其它类型，其中压阻型压力传感器最为常见，本文从压阻传感器的发展趋势和MEMS电容传感器的发展趋势两个方面进行了分析从20世纪50年代开始，MEMS压力传感器的研究经历了金属单光阑压力传感器掺杂扩散膜硅压阻传感器离子注入硅压阻传感器硅融合成键MEMS压力传感器等，在21世纪初发展成为采用表面微机械技术的新一代2005年，GLammel等报道了Bosch公司开发的新一代MEMS压力智能

气敏元件在医学领域中已经有了许多应用，该方法通过气敏传感器对病人呼气进行丙酮含量检测，实现了对I型糖尿病快速无痛检测与传统的血检相比，呼气式检查的诊断和治疗经验更丰富在体内胰岛素水平较低的时候，葡萄糖不能转化为能量，从而分解脂肪丙酮是一种副产物，脂肪分解后，随着呼吸排出体外该设备操作方便，受试者只需向设备吹气，当气体通过检测单元时，丙酮敏感物质会与其中的丙酮发生特异性反应，改变颜色，导致传感器内的光信号发生变化，最后将丙酮含量数据转换成电信号输出科研人员针对气敏传感器研发的可靠性问题，采用了专门针对丙酮进行的化学反应，并且排除了湿度干扰，能够在组成复杂的呼吸气体中准确测量丙酮为了提高产品的可靠

hljs-center智能化传感器技术是智能化制造和物联网的先导技术，它作为一种前端感知工具意义重大为了实现对环境的感知和信号转换功能，需要具有多种功能的传感器，特别是在智能穿戴领域，对传感器的依赖性更强，这就要求传感器朝着智能化微型化和多功能性方向发展传感器是如何工作的一工作原理该传感器通过将各种被测信号量的微小变化转换成电子信号来工作随后，信号处理单元转换为数字或模拟信号，并交给执行程序进行处理如光电温度等传感器，首先向传感器供电±15V，激磁电路中的晶体振荡器产生400Hz方波，通过功率放大器即产生交流激磁功率，通过能量循环变压器从静止的主线圈传送到旋转的次线圈高精度稳压电源由基准电源和

集成传感器是采用硅半导体集成工艺而制成的，因此亦称硅传感器或单片集成温度传感器，集成传感器主要是将温度传感器集成在一个芯片上可完成温度测量及模拟信号输出功能的专用IC并且还具有测量误差小价格低响应速度快传输距离远体积小微功耗等特点同时集成传感器与MEMS的集成在智能家居的发展之中是需要被理解和清楚的，而集成传感器与MEMS的集成之间有着紧密的联系hljs-center集成传感器与MEMS集成的关系一MEMS是传感器提供的典型应用在目前的发展之中，MEMS加速度计和压力传感器已广泛应用于汽车工业同时集成传感器是一种半导体敏感元件，在芯片上制作测量处理电路，利用集成电路技术，使用成本低廉的小传感器