MEMS的全称是微型机械系统。
采用传统的半导体工艺和材料，将微传感器、微致动器、微机械机构、信号处理与控制电路、高性能电子集成装置、接口、通讯与电源等与微型设备或系统合二为一。该系统具有体积小，成本低，集成度高。
MEMS智能传感器是什么有哪些种类以及常见应用场景介绍
微机电传感器类型。
微机械传感器的种类很多，主要有运动传感器、压力传感器、麦克风、环境传感器、光传感器等。
运动传感器的MEMS主要有三种类型：加速度计、陀螺仪、磁力计，其中加速度计和陀螺仪可集为六轴惯性传感器，磁力计和磁力计集为电子罗盘，磁力计和陀螺仪集为九轴惯性传感器。
微机电环境传感器可以分为气体、温度、湿度传感器等。微机电气体传感器主要用于检测气体的成分、浓度等。可以在需要检测温度的任何位置使用MEMS温度传感器。MEMS湿度传感器已广泛应用于工控、气象、农业、矿山检测等领域。
微机电传感器的应用
除智能手机外，MEMS传感器还将广泛应用于消费电子如AR/VR、可穿戴等，智能驾驶、智能工厂、智能物流、智能家居、环境监测、智能医疗等物联网领域。
车联网应用。
汽车网络是物联网发展的一个重要领域，而智能汽车是汽车网络的核心，目前正处于高速发展阶段。主动安全技术是智能汽车时代一个备受关注的新兴领域，现有主动安全系统如侧翻(rollover)和稳定控制(ESC)需要MEMS加速度传感器和角速度传感器来感知车身姿态。
声音将成为人类与智能汽车交互的重要方式，MEMS传声器将迎来新的发展机遇。在汽车领域，MEMS传感器也有许多应用，包括安全气囊(用于前防撞气囊的高g值加速度传感器，以及用于侧面气囊的压力传感器)、汽车发动机(用于检测进气量的进气管绝对压力传感器和流量传感器)等。
自动驾驶应用
自动化驾驶技术的兴起，促使MEMS传感器进入汽车领域。尽管GPS接收器可以计算自己的位置和速度，但是当GPS信号不好的地方(地下车库、隧道)和信号被干扰时，车辆的导航就会受到影响，这是自动驾驶的致命缺陷。
使用MEMS陀螺和加速度计获得速度和位置(角速度和角位置)，车辆任何一个微小的动作和倾斜姿态，都会转换成数字信号，并通过总线传送到行车计算机。即使在最快速度下，MEMS的精确度和反应速度仍能适应。多亏了微硅体加工、晶片粘合等技术的发展，精确度达到了0.01。
工业应用
微机电技术使传感器小型化、智能化，智能工业时代的MEMS传感器大有可为。温度、湿度传感器可用于MEMS对环境状况的检测，MEMS加速度计可用于工业设备振动、转动速度的监测。精密MEMS加速度传感器和陀螺仪，可为工业机器人导航转动提供精确的位置信息。
目前MEMS生物传感器正处于开发阶段。微机电生物传感器是利用生物分子检测生物反应信息的装置，是新世纪医学检测五大技术之一，是现代生物技术与微电子学、化学等多学科交叉融合的产物。因此，MEMS生物传感器在医药、食品、环境监测等领域有着广阔的发展前景。
