MEMS的全称是微型机械系统采用传统的半导体工艺和材料,将微传感器微致动器微机械机构信号处理与控制电路高性能电子集成装置接口通讯与电源等与微型设备或系统合二为一该系统具有体积小,成本低,集成度高微机电传感器类型微机械传感器的种类很多,主要有运动传感器压力传感器麦克风环境传感器光传感器等运动传感器的MEMS主要有三种类型加速度计陀螺仪磁力计,其中加速度计和陀螺仪可集为六轴惯性传感器,磁力计和磁力计集为电子罗盘,磁力计和陀螺仪集为九轴惯性传感器微机电环境传感器可以分为气体温度湿度传感器等微机电气体传感器主要用于检测气体的成分浓度等可以在需要检测温度的任何位置使用MEMS温度传感器MEMS湿度传感器