集成传感器是采用硅半导体集成工艺而制成的,因此亦称硅传感器或单片集成温度传感器,集成传感器主要是将温度传感器集成在一个芯片上、可完成温度测量及模拟信号输出功能的专用IC。并且还具有测量误差小、价格低、响应速度快、传输距离远、体积小、微功耗等特点。同时集成传感器与MEMS的集成在智能家居的发展之中是需要被理解和清楚的,而集成传感器与MEMS的集成之间有着紧密的联系。
集成传感器与MEMS集成的关系
一、MEMS是传感器提供的典型应用
在目前的发展之中,MEMS加速度计和压力传感器已广泛应用于汽车工业。同时集成传感器是一种半导体敏感元件,在芯片上制作测量处理电路,利用集成电路技术,使用成本低廉的小传感器。与集成电路技术和微机械加工方法的使用,机械和电气部件的各种物理效应和基于集成在一个芯片处理电路敏感,使微机电系统MEMS集成。在此之间, MEMS不仅依赖于电子技术,还依赖于机械加工技术。
二、传感器与MEMS的集成
集成电路技术、微细加工技术等新技术和新技术的发展为传感器的集成化和小型化提供了可能性。而微电子和微传感器的微机械加工技术产生的包装系统的使用,与传统的传感器相比,具有较多优点。
在智能家居中传感技术的应用与发展趋势
随着科学技术的发展,传感器正朝着智能化、网络化、集成化、微型化的方向发展,特别是MEMS技术的成熟,正不断推动传感器技术的进步。通过MEMS技术把传感器芯片、处理器芯片、通信芯片、电路集成于一体,实现传感器的智能化、网络化、集成化和微型化。网络化传感器具备自动组网功能,解决智能家居联网繁琐问题。而集成传感器使得产品具备多参数采集能力,实现采集更多的信息,减少安装成本,提高整体美观度;微型化传感器让终端产品的设计更加灵活,也更容易集成到传统家电产品中,促进传统家电的智能化转型。
文章来源:《智能家居必备的集成传感器与MEMS》