智能MEMS传感器

hljs-center伴随着5G时代的来临，人工智能物联网AIoT设备的大爆发，以及人工智能语音应用的不断涌现，语音人机交互正成为智能设备普及的重要入口，迅速改变着人们的生活作为语音人机交互入口的核心部件，MEMS传声器具有体积小功耗低性能优一致性高成本低等优点，被业界誉为智能设备中的听觉细胞根据McMams咨询公司的统计，MEMS麦克风的市场规模从2010年的159亿元增长到2019年的868亿元，复合年增长率达到2075在近几年，随着中国MEMS麦克风厂商的不断发展，楼氏电子的市场份额在2019年下滑到36，以歌尔股份瑞声科技敏芯股份共达电声芯奥微华景传感为代表的中国大陆厂商和以钰太科技美

hljs-center众所周知，MEMS微机电系统传感器是一种新型传感器，它采用微电子加工和微机械加工技术该传感器以其体积小功耗低成本低智能化等特点，为解决传统半导体TO封装中存在的大功率大体积等问题提供了有力的解决方案MEMS技术的应用，为气敏元件的集成提供了坚实的基础基于MEMS工艺的气敏元件正在成为未来气敏元件发展的主要方向之一，这一点业界已达成共识与物理传感器芯片不同，MEMS气敏传感器涉及化学材料自动化精密仪器电子半导体软件和算法等多个学科，且制造困难，工艺流程复杂当前市场上的MEMS气敏传感器一般以单晶硅材料为基底，MOS金属氧化物为气敏材料，当气敏材料与被测气体接触时，气体就会与

hljs-center2020年新冠疫情COVID-19中美贸易争端单边主义盛行等复杂的全球局势影响着各行各业，改变着人们的生活方式，甚至影响着我们看待世界的方式这对智能MEMS传感器产业也有很大的影响但困境往往孕育着机遇，并不是所有智能MEMS传感器细分领域都受到上述负面影响2021年，MEMS传感器将迎来下一轮技术变革例如，在新冠型肺炎大流行期间，红外探测器和微流控器件市场出现了现象级的大幅增长此外，疾病爆发带来的家庭隔离远距离办公5G部署非接触式语音交互和数据中心等应用开发加速了RF滤波器MEMS振荡器MEMS麦克风等设备的发展但由于消费者需求端的大幅萎缩，整个消费MEMS市场小幅下滑2