hljs-center众所周知,MEMS微机电系统传感器是一种新型传感器,它采用微电子加工和微机械加工技术该传感器以其体积小功耗低成本低智能化等特点,为解决传统半导体TO封装中存在的大功率大体积等问题提供了有力的解决方案MEMS技术的应用,为气敏元件的集成提供了坚实的基础基于MEMS工艺的气敏元件正在成为未来气敏元件发展的主要方向之一,这一点业界已达成共识与物理传感器芯片不同,MEMS气敏传感器涉及化学材料自动化精密仪器电子半导体软件和算法等多个学科,且制造困难,工艺流程复杂当前市场上的MEMS气敏传感器一般以单晶硅材料为基底,MOS金属氧化物为气敏材料,当气敏材料与被测气体接触时,气体就会与