压阻传感器的优缺点

压阻式压力传感器也叫扩散硅压力传感器，它是一种利用单晶硅材料的压阻效应，结合集成电路技术制造的一种传感器单晶体硅材料受力后，其电阻率会发生变化，通过测量电路可以获得正比于力变化的电信号输出压阻感应器可用于测量和控制压力拉力差压和其它可转换成力变化的物理量如液位加速重量应变真空在硅晶体中使用力作时，晶体的晶格产生形变，使载流子从一片到另一片散射，导致迁移率改变，载流子的平均纵向和横向电阻率都会受到干扰，从而导致硅片电阻率的改变结果表明，在不同的晶体中，其压阻效应与晶体的取向有关硅压阻效应与金属应变计不同，前者电阻随压力的变化主要依赖于电阻率的变化，后者则主要受几何尺寸的变化影响，且前者的灵敏度较

压阻压力传感器主要基于压阻效应压阻效应用于描述材料受机械应力作用时产生的电阻变化与上面提到的压电效应不同，压阻效应仅产生阻抗变化，不产生电荷发现大部分金属和半导体材料都有压阻效应在这种情况下，半导体的压阻作用要大于金属硅片是当今集成电路中的主流，因此，用硅片制造压阻元件显得尤为重要阻抗变化不单单是由几何变形引起的，它还来自于材料本身与应力有关的电阻，这个电阻使它比金属大几百倍N型硅的阻值变化主要是由其三个导带谷对的位移引起的导带带之间的载子重新分配，从而改变了导带之间的电子迁移率第二个原因是当量质量effectivemass，其产生于导带谷形变化P型硅片中，这一现象更加复杂，并引起了等效质量的