压阻传感器系统

压阻式压力传感器也叫扩散硅压力传感器，它是一种利用单晶硅材料的压阻效应，结合集成电路技术制造的一种传感器单晶体硅材料受力后，其电阻率会发生变化，通过测量电路可以获得正比于力变化的电信号输出压阻感应器可用于测量和控制压力拉力差压和其它可转换成力变化的物理量如液位加速重量应变真空在硅晶体中使用力作时，晶体的晶格产生形变，使载流子从一片到另一片散射，导致迁移率改变，载流子的平均纵向和横向电阻率都会受到干扰，从而导致硅片电阻率的改变结果表明，在不同的晶体中，其压阻效应与晶体的取向有关硅压阻效应与金属应变计不同，前者电阻随压力的变化主要依赖于电阻率的变化，后者则主要受几何尺寸的变化影响，且前者的灵敏度较