对于微型低成本的传感器用于监测生产的各个方面,物联网有着巨大的需求这类感应器必须把信息传递给工厂网络中的其它节点,而且必须在工厂严格的电气和机械环境下稳定工作MEMS设备是为了这样做的它们小巧坚固,并且可以在一个封装中加入额外的电路来实现有线或无线连接MEMS设备能够有效地满足物联网应用的需求1低功率物联网的传感器和网关通常需要无线和电池供电因为它的单位成本很低,所以换一整块电池通常比装新电池便宜因而,任何降低功率消耗都将延长设备的寿命一些MEMS面临着和大型MEMS同样的功率需求另一些人可以在不牺牲功能的情况下,利用电磁力或流体动力学中的不同作用力,以减少能量消耗例如,考虑通过小型管道输送水