传感技术是信息时代的感知层,是物联网大数据智能制造智慧城市等领域的基础和数据源,它的发展与应用是一个国家信息化的重要标志近几年来,随着人工智能技术的不断突破,智能传感器成为新的市场需求智能化传感器是传感器集成化和微处理器结合的产物,具有采集处理和交换信息的能力hljs-center在物联网等泛在应用的推动下,目前气敏传感器的应用越来越广泛,其技术发展方向开始向小型化集成化模块化和智能化方向发展以MEMS为基础的设计方案将是今后气敏传感器发展的主要方向微电子学技术成膜工艺MEMS金属氧化物半导体气敏传感器在硅基板上沉积金属氧化物敏感层,以敏感层下的电阻作为加热,以二极管作为温度测量元件,必要的信