湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主要有电阻式、电容式两类。
湿敏电阻的特点是在基板上覆盖一层由感湿材料制成的薄膜。当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值发生变化，湿度可以用这个特性来测量。
湿敏电容器一般由聚合物薄膜电容器制成，常用的聚合物材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生变化时，湿敏电容器的介电常数发生变化，电容量也发生变化，电容量与相对湿度成正比。
电子湿敏传感器的精度可达2-3%RH，这比干湿球测湿精度高。
湿敏元件的线性和抗污染性差。在检测环境湿度时，湿敏元件应长期暴露在待测环境中，容易受到污染，影响其测量精度和长期稳定性。
湿敏电阻
湿敏电阻的特点是在基板上覆盖一层由感湿材料制成的薄膜。当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值发生变化。湿敏电阻有很多种，如金属氧化特湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。湿敏电阻的优点是灵敏度高，主要缺点是线性度和产品互换性差。
湿敏电容
湿敏电容器一般由聚合物薄膜电容器制成，常用的聚合物材料包括聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等。当环境湿度发生变化时，湿敏电容器的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。湿敏电容器的主要优点是灵敏度高，产品互换性好，响应速度快，湿度滞后小，制造方便，容易实现小型化和集成，精度一般低于湿敏电阻。除电阻、电容湿敏元件外，还有电解质离子湿敏元件、重量湿敏元件（利用湿膜重量变化改变振荡频率）、光强湿敏元件、声表面湿敏元件等。湿敏元件的线性和抗污染性较差。在检测环境湿度时，湿敏元件应长期暴露在待测环境中，容易受到污染，影响其测量精度和长期稳定性。
