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1.压阻压力传感器。
电阻式应变片是压阻应变传感器的重要部件之一。应变电性金属电阻的工作原理是吸附于基体材料上的应变电阻与机械变形时的阻值变化,这一现象被称为电阻应变效应。
2.陶瓷压力传感器。
由于具有压阻效应的陶瓷压力传感器,压力直接作用于陶瓷膜片的正面,使其发生微小变形,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片背面,与惠斯通电桥相连,由于压阻器具有压阻效应,使得电桥形成一个高度线性的线性,与激励电压也成正比,从而形成一个电压信号,根据压力量程的不同,标准信号标定为2.0/3.0/3.3mV/V等,可与应变传感器兼容。
3.扩散硅压力传感器:
微硅压敏传感器的工作原理也是基于压阻效应,利用压阻效应原理,介质压力直接作用在传感器膜片(不锈钢或陶瓷)上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移;通过改变感应器的电阻值,用电子线探测到这个变化,然后转换出相应于该压力的标准测量信号。
4.蓝宝石压力传感器:
以硅蓝宝石为材料,应用应变电阻型原理,作为半导体敏感元件,具有无可比拟的计量特性。所以,用硅蓝宝石制成的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温环境下也具有良好的工作性能;蓝宝石具有较强的抗辐射性能;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移。
5.压电压力传感器:
压电式传感器是其基本工作原理,压电传感器在受外力作用后,由于其输入阻抗无穷大,所以压电传感器无法用来进行静态测量。因此,压电式感应器只能用来测量动态应力,而实际情况并非如此。