MEMS是压力传感器生产工艺的总称,按原理可分为压阻型MEMS压力传感器和电容式压力传感器而且材料的选择也有单晶硅和多晶硅两种11MEMS压阻压力传感器硅压阻压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片构成的惠斯顿电桥作为力电变换测量电路,其测量精度高功耗低成本低在没有压力变化的情况下,惠斯顿电桥的压阻传感器输出为零,几乎不消耗电能周围固定有圆形应力杯硅膜膜内壁的MEMS硅压阻压力传感器利用MEMS技术,四个高精度的半导体应变片刻在其表面应力最大的位置,构成惠斯顿测量电桥它是力电转换的测量电路,它把这一物理量直接转换为电量,测量精度可以达到001-003FS硅压阻式压力传感器结构上下二层为玻璃体,中