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从宇宙探测到海洋探测,传感器技术是现代测量与自动化系统中的重要技术之一,由生产过程控制到现代文明生活,世界各国都非常重视传感器技术的发展,如日本将传感器技术列为计算机、通讯、激光、半导体六大核心技术。一种超导体和传感器压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、集成方便等优点,可广泛应用于压力、高度、加速度、液体流量、流速、液位、压强等方面。此外,在水利、地质、气象、化工、医疗卫生、智能家居等方面也有广泛的应用。因为它是平面工艺和立体加工的有机结合,而且易于集成,所以可以用于制作血压计、风速计、水速仪、压力表、电子报警器等。在各种传感器中,压力传感器已经成为技术最为成熟、性能稳定、性价比最高的一类传感器。
压力传感器的研究领域在世界各国都很广泛,几乎渗透到各行各业,但归纳起来主要有以下几种趋势:
(1)目前市场对小尺寸压力传感器的需求日益增加,这类小传感器可在非常恶劣的环境中工作,而且仅需很少的维护和维护,对环境的影响也很小,可放置于人体的各种重要器官中,收集信息,对正常生活没有影响。市面上一些压力传感器直径只有1.27mm,可放置于人体血管内,不会对血液循环造成太大影响。
(2)已有越来越多的一体化压力传感器与其他测量设备整合,以形成测量和控制系统。在工艺控制和工厂自动化方面,集成系统可以提高运行速度和效率。
(3)智能由于集成技术的出现,可以在集成电路中加入微处理器,使传感器具有自动补偿、通信、自诊断、逻辑判断等功能。
(4)广泛化压力传感器的另一种发展趋势是从机械工业扩展到其他领域,例如:汽车部件、医疗仪器和能源环境控制系统。
(5)在设计和制造标准化传感器方面已形成一些工业标准。例如ISO质量体系、美国ANSI、ASTM、俄罗斯OCT、日本JIS等。
结合硅微加工技术、超大型集成电路技术及材料制备及性能研究的进展,因此,将压力传感器用于光纤传感器的批量生产,使高温硅压阻和压电结传感器的应用成为可能。压力传感器在微机械等领域具有广阔的应用前景。